测量三溴化硼气体质量流量用什么流量计

　　测量三溴化硼气体质量流量推荐使用温差量热法原理的专用热式质量流量计，具体信息如下：

　　一、核心测量原理

　　采用传热温差量热法，通过测量气体流经毛细管时产生的温差信号，实现质量流量的无温度、压力补偿测量。

　　二、适用场景与优势

　　适用于强腐蚀性气体（如三溴化硼、三氯化硼、氟化氢）及金属氧化物气体（如MOCVD工艺用气体）；

　　具有高精度（如0-200L/min，精度等级1%）和宽口径（3-12mm）特点，可满足工业控制需求。

　　三、关键组件与技术特点

　　传感器采用闭环控制结构，通过差值信号驱动调节阀门实现流量精准控制；

　　支持模拟（0-5V/4-20mA）和数字（RS232/RS485）输入输出接口，兼容上位机控制。

　　注意事项 ：选择时需关注密封材料（如金属密封适用于强腐蚀性气体），并确保工作压力（如10MPa）和温度范围符合工艺需求。