测量四氯化锗气体质量流量用什么流量计

　　测量四氯化锗气体质量流量可以使用热式气体质量流量计。这种流量计可以直接测量气体的质量流量，而不需要温度和压力补偿，适用于各种气体的流量测量。热式气体质量流量计的安装方式可以是插入式或管道式，适用于不同温度条件下的测量。

　　1.核心测量原理

　　采用温差量热法，通过测量气体流经毛细管时产生的温差变化，直接计算质量流量。该原理无需温压补偿，可消除温度、压力等因素对测量结果的影响。

　　2.技术优势

　　无动部件 ：结构简单，维护成本低，可靠性高；

　　高精度与稳定性 ：重复性好，量程宽（如0-200L/min），精度可达1%；

　　快速响应 ：适用于高、快反应需求的场景。

　　3.适用场景

　　适用于对测量精度要求较高的场合，如需要精确控制四氯化锗气体流量的工业应用。