测量三氯氢硅流量用什么流量计

　　三氯氢硅(Trichlorosilane,简称TCS)是半导体工业中重要的原料气体,它在制备硅片的化学气相沉积(CVD)过程中作为硅的原料气体被广泛使用。如何正确高效地测量TCS的流量对于保证CVD生产线的质量和效率非常重要。

　　对TCS流量的测量主要有以下几种方法:

　　1. 热型质量流量计

　　热型质量流量计利用加热丝将通过管道的TCS加热成气体,然后通过测量加热丝产生的热量来计算TCS在单位时间内通过管道的质量,从而得到质量流量。这种流量计测量原理简单,适用于TCS低流量的情况。

　　2. 压差流量计

　　压差流量计通过设置一个流量限制器(例如一个微小的孔径),测量TCS通过限制器时产生的压差变化来计算流量。这种流量计测量范围广,适用于TCS中高流量的情况。

　　3. 超声波流量计

　　超声波流量计利用超声波在TCS气体中的传播速度会随流体流速的变化而变化这一原理,通过发送和接收超声波来计算流速,进而得到质量流量。这种流量计对气体组成和温度的影响最小。

　　以上几种流量计在测量TCS流量时都有一定的应用场景。正确选择流量计类型有利于高效和精确地测量TCS在CVD生产过程中的流量变化,从而保证产品质量。