测量三氟化硼气体质量流量用什么流量计

　　测量三氟化硼气体质量流量可以选择以下几种流量计：

　　1. 科里奥利流量计：科里奥利流量计是一种利用科里奥利效应来测量流体质量流量的设备。它通过检测流体在振动管中流动时产生的科里奥利力来确定流量。这种流量计的优点是精度高、响应快，且不受流体温度、压力和密度变化的影响。

　　2. 椭圆齿轮流量计：椭圆齿轮流量计是一种容积式流量计，通过计量室内一对椭圆齿轮的旋转来计量流体的体积流量。虽然它主要用于液体流量测量，但在某些情况下也可以用于气体流量的测量。

　　3. 热式质量气体流量计：热式质量气体流量计是近代开发出来的测量质量的流量计，这种流量计的好处安装方便，几乎不用改变管路结构，直接开孔就可以了，几乎免维护，后期测量成本低，在终端市场拥有大量的用户群体。

　　4. 数字式气体质量流量计：数字式气体质量流量计通常具有较高的测量精度和宽广的测量范围。它们可以提供质量流量、温度、密度等多种参数的测量，并且易于集成到自动化控制系统中。

　　在选择具体的流量计时，还需要考虑三氟化硼气体的特性（如腐蚀性、毒性等）、工作条件（如温度、压力等）以及成本等因素。