测量硼烷气体质量流量用什么流量计

　　测量硼烷气体的质量流量，可以使用专门设计的硼烷气体质量流量计。这类流量计通常具有高精度、快速响应和良好的稳定性，适用于各种气体的测量，包括硼烷。以下是一些关键点和推荐的流量计类型：

　　1. 专用硼烷气体质量流量计

　　- 精度：通常可以达到±1% F.S.（满量程）。

　　- 响应时间：小于等于1秒。

　　- 工作压差：0.05-0.3MPa。

　　- 较大耐压：10MPa。

　　- 通讯协议：支持RS232或RS485。

　　- 显示方式：可选一体显示或分体显示。

　　- 接头类型：常见的有3mm, 6mm, 8mm, 10mm双卡套，1/4VCR, 1/8VCR等。

　　2. 安装和使用注意事项

　　- 介质净化：确保测量的气体已经净化，避免粉尘、液体和油污进入流量计。

　　- 管道和气源：在使用大流量的质量流量控制器时，适当加粗管道和减小气源内阻，以确保工作压差达到要求值。

　　- 压力表安装：建议在进出口处安装压力表，以便实时监测压力变化。

　　3. 应用领域

　　- 系统集成商：包括气体装配流水线集成商、真空系统集成商等。

　　- 特殊气体厂商：如硼烷气体的生产和供应商。

　　- 科研机构：如大学实验室、研究所等。

　　4. 其他类型的流量计

　　- 差压式流量计：如孔板流量计、威力巴、阿牛巴流量计，适用于测量气液两相介质的流量，但精度稍低。

　　- 涡街流量计：适用于测量体积流量，但需要注意量程测量范围。

　　- 科里奥利流量计：适用于微小流量的测量，具有高精度和快速响应的特点。

　　选择合适的硼烷气体质量流量计时，应考虑精度、响应时间、工作压差、耐压能力等因素，并根据具体的应用需求选择合适的型号和品牌。